半导体器件工厂用的清洁电缆

日本日立电缆公司研制成半导体器件工厂用的清洁电缆﹐商品名为"outgas cable"。Outgas 的意思是指从各种材料散发出来的分子污染物。这些污染物分为有机污染物﹑酸性气体﹑碱性气体以及掺杂混合物等。电缆是一个有机污染物源。从电缆有机物中散发出来的气体有机物会附着在半导体芯片上﹐从而影响氧化膜的绝缘性能。这种污染源﹐对于清洁度要求极高的半导体器件制造厂来说是相当重要的。日立电缆公司研制出的这种环境友好型PVC电缆材料和电缆产品﹐不含铅和其它有害金属﹐引起有关行业的关注。